基板加工機
・
Mits FP-21THP
・
小パターン幅：0.1 mm
・
最小切削幅：0.1 mm
・
移動範囲 (X/Y/Z)：350×250×30 mm
・
テーブルサイズ (X/Y)：460×450 mm
・
分解能：4 μm
・
最高移動速度：80 mm/sec.
・
スピンドル回転数：5,000〜60,000 min-1
・
ドリル径：0.2〜3.175 mm
・
最大加工ストローク：30 mm
・
設置数：1 台
加工作品例
Copyright (C) 2011 Department of Electronic Control Engineering. All rights reserved.
